GB/T25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。
本部分目前只考虑洁净室运行工况下100g/m3~10-12g/m3 的AMC浓度。
本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。
本部分无意探讨空气分子污染物的特性。
本部分不包含对表面分子污染的分级。
 |
|
Standard
| GB/T 25915.8-2010 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 8:Classification of airborne molecular contamination (English Version) |
|
|
|
|
|
|
|
|
Detail of GB/T 25915.8-2010
| Standard No. |
|
| English Name |
|
| Chinese Name |
|
| Chinese Classification |
|
| Professional Classification |
|
| ICS Classification |
|
| Issued by |
|
| Issued on |
|
| Implemented on |
|
| Status |
|
| Superseded by |
|
| Superseded on |
|
| Abolished on |
|
| Superseding |
|
| Language |
|
| File Format |
| Word Count |
| Price(USD) |
|
| Keywords |
|
Introduction of GB/T 25915.8-2010
GB/T25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。
本部分目前只考虑洁净室运行工况下100g/m3~10-12g/m3 的AMC浓度。
本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。
本部分无意探讨空气分子污染物的特性。
本部分不包含对表面分子污染的分级。
Contents of GB/T 25915.8-2010