GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑：
——特定工艺的洁净度及适合性要求；
——表面的清洁步骤；
——材料特性；
——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；
——分级和测试统计方法的选择和使用；
——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。
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Standard
| GB/T 25915.9-2018 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration (English Version) |
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Detail of GB/T 25915.9-2018
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Introduction of GB/T 25915.9-2018
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑：
——特定工艺的洁净度及适合性要求；
——表面的清洁步骤；
——材料特性；
——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；
——分级和测试统计方法的选择和使用；
——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。
Contents of GB/T 25915.9-2018