Standard No.:	GB/T 40577-2021
English Name:	Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment
Chinese Name:	集成电路制造设备术语
Chinese Classification:	L95    Electronic industry production equipment in general
Professional Classification:	GB    National Standard
Issued by:	SAMR, SAC
Issued on:	2021-10-11
Implemented on:	2022-5-1
Status:	valid
Language:	English
File Format:	PDF
Word Count:	25000 words
Price(USD):	750.0
Delivery:	via email in 1~8 business day

本文件规定了集成电路（IC)制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。
本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。