Standard No.:	T/CEMIA 032-2022
English Name:	Buffered oxide etchant for display panels
Chinese Name:	显示面板用氧化层缓冲刻蚀液
Chinese Classification:	L90    Special electronic technology material
Professional Classification:	T/    Social Organization Standard
Issued by:	CEMIA
Issued on:	2022-04-20
Status:	valid
Language:	English
File Format:	PDF
Word Count:	7500 words
Price(USD):	225.00
Delivery:	via email in 1~3 business day

本文件规定了显示面板用氧化层缓冲刻蚀液的缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。
本文件适用于由氢氟酸水溶液和氟化铵水溶液组成的显示面板用氧化层缓冲刻蚀液，适用于显示面板制造中硅氧化物和氮化硅层的蚀刻，同样适用于硅氧化物和氮化硅层的清洗过程。
氢氟酸和氟化铵的基本信息见附录A中的A.1。