Standard No.:	T/ICMTIA CMP0037-2023
Chinese Name:	集成电路用聚氨酯 类化学机械抛光垫
Professional Classification:	T/    Social Organization Standard
Source Content Issued by:	ICMTIA
Issued on:	2023-03-01
Implemented on:	2023-4-1
Status:	valid
Target Language:	English
File Format:	PDF

本文件规定了集成电路用聚氨酯类化学机械抛光垫（以下简称“抛光垫”）的分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存的要求。
本文件适用于集成电路制造过程中晶圆化学机械平坦化处理所使用的聚氨酯抛光垫。