Standard No.:	T/ICMTIA ESG0039-2024
English Name:	Test method for measurement of impurity concentrations in titanium tetrachloride for integrated circuit by Inductively coupled-plasma Mass Spectrometry
Chinese Name:	集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Professional Classification:	T/    Social Organization Standard
Source Content Issued by:	ICMTIA
Issued on:	2024-04-30
Implemented on:	2024-6-1
Status:	valid
Target Language:	English
File Format:	PDF

本文件规定了四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素含量的测定。各元素的测定范围0.1ng/g～50ng/g。