Standard No.:	GB/T 42158-2023
English Name:	Micro-electromechanical systems technology(MEMS)―Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
Chinese Name:	微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
Chinese Classification:	L59    Micromodule
Professional Classification:	GB    National Standard
ICS Classification:	31.080.99 31.080.99    Other semiconductor devices 31.080.99
Source Content Issued by:	SAMR; SAC
Issued on:	2023-03-17
Implemented on:	2023-7-1
Status:	valid
Target Language:	English
File Format:	PDF
Word Count:	12500 words
Translation Price(USD):	375.0
Delivery:	via email in 1~5 business day

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。
本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。