Standard No.:	T/ICMTIA ESG0020-2022
Chinese Name:	集成电路用气体 锗烷
Professional Classification:	T/    Social Organization Standard
Source Content Issued by:	ICMTIA
Issued on:	2022-05-10
Implemented on:	2022-5-31
Status:	valid
Target Language:	English
File Format:	PDF

本文件规定了集成电路用锗烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于采用氯化锗、氧化锗、锗镁合金等原料制备的锗烷经过纯化后获得的集成电路用锗烷。